中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利增大后续形成的金属栅极与沟道层的接触面积
浏览次数: 发布时间:2026-01-27 02:21:37

  国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN 121013359 A,申请日期为2024年5月。

  专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,其中形成方法包括:提供衬底;在所述衬底上形成若干分立排布的鳍部,所述鳍部包括牺牲层以及位于所述牺牲层表面的沟道层;在所述衬底上形成横跨所述鳍部的多个分立的伪栅结构,所述伪栅结构覆盖所述鳍部的部分侧壁和顶部表面,相邻所述伪栅结构以及相邻所述鳍部之间具有隔离开口;在所述隔离开口内沉积隔离层。通过在形成伪栅结构之后形成隔离层,所述隔离层是在隔离开口内沉积形成的,且所述隔离开口位于相邻所述伪栅结构以及相邻所述鳍部之间,避免了隔离层与所述鳍部的接触,增大了伪栅结构与鳍部的接触面积,进而增大后续形成的金属栅极与沟道层的接触面积。

  天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线条,此外企业还拥有行政许可446个。

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